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X射線微焦透視檢查裝置

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島津微焦X射線透視檢查裝置SMX-1000/1000L
MX- 1000/SMX-1000L采用FPD(數(shù)字式平板檢出器)和密閉式微焦點(diǎn)X射線管球,可以得到?jīng)]有變形和重影的清晰的透視圖像。另外,設(shè)備操作軟件在 檢查樣品種類后就可自動(dòng)設(shè)定檢查條件,通過簡單操作就可高效地完成作業(yè)。

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島津微焦X射線透視檢查裝置SMX-1000/1000L

操作簡便、功能強(qiáng)大的緊湊型X射線檢查裝置
增加VCT組件后,立刻成為CT設(shè)備!

  MX- 1000/SMX-1000L采用FPD(數(shù)字式平板檢出器)和密閉式微焦點(diǎn)X射線管球,可以得到?jīng)]有變形和重影的清晰的透視圖像。另外,設(shè)備操作軟件在 檢查樣品種類后就可自動(dòng)設(shè)定檢查條件,通過簡單操作就可高效地完成作業(yè)。設(shè)備上的CCD相機(jī)可拍攝樣品實(shí)物圖片,從而實(shí)現(xiàn)導(dǎo)航功能、步進(jìn)功能、教學(xué)功 能、圖像數(shù)據(jù)功能以及各種測量功能。

如果在設(shè)備上增加VCT組件(選購件),還能夠輕而易舉地獲得CT圖像。

X射線微焦透視檢查裝置用途

  SMX-1000/SMX-1000L能夠通過非破壞檢查方法對高密度實(shí)裝基板和BGA、CSP、系統(tǒng)LSI等超細(xì)微部分的結(jié)合狀態(tài)(斷路、短路)進(jìn)行高放大倍數(shù)透視檢查。

X射線微焦透視檢查裝置特點(diǎn)

清晰的圖像 
  將新型的FPD(數(shù)字式平板檢出器)和本公司良好的圖像處理技術(shù)相結(jié)合,得到?jīng)]有變形的清晰的圖像。

能夠傾斜zui大60°進(jìn)行透視

  從垂直方向不容易發(fā)現(xiàn)的缺陷,通過傾斜透視可檢查出來。*傾斜透視作為標(biāo)配設(shè)計(jì)在通用機(jī)型中。 FPD傾斜的zui大角度為60°,在維持方法倍率不變的情況下,能夠?qū)崿F(xiàn)更大范圍的斜向透視檢查。

大樣品出入口和大載物臺(tái)增加了機(jī)器易操作性 
  設(shè)備開口采用了2段拉門形式,使尺寸達(dá)到535(W)X400(H),是舊機(jī)型樣品出入口的2倍。載物臺(tái)尺寸可放置400X350的實(shí)裝板,SMX-1000L的搭載尺寸更能達(dá)到570X670mm。

優(yōu)異的操作性
>> 檢查條件預(yù)設(shè)功能 在透視圖像中包含豐富的拍攝信息,在透視檢查時(shí),不需特地更改X射線條件,從檢查條件一覽中選擇任意設(shè)定,就可立刻選擇該材質(zhì)的拍攝條件觀察被測樣品。

>> 通過外觀照片CCD相機(jī)決定位置 CCD相機(jī)能夠拍攝載物臺(tái)的整體圖像,從而在實(shí)物照片上確定觀察位置。此項(xiàng)操作令樣品移動(dòng)十分簡單直觀。

>> 在實(shí)時(shí)圖像上確定位置(限于鼠標(biāo)操作) 設(shè)備的所有操作都可用鼠標(biāo)完成,所以操作人員不需來回看設(shè)備內(nèi)部情況,就可專心檢查作業(yè)。而且,“中心移動(dòng)"功能可迅速將鼠標(biāo)點(diǎn)擊的位置自動(dòng)移動(dòng)到監(jiān)視器上實(shí)時(shí)圖像中心。


各種功能多方支持操作者
>> 步進(jìn)功能
步進(jìn)功能適用于檢查排列在載物臺(tái)上間隔相同的樣品,例如整齊排列的樣品或形狀相同的樣品。

>> 教學(xué)(Teaching)功能
此功能能夠按照預(yù)先登錄的檢查點(diǎn)來驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)進(jìn)行檢查。該功能適用于同種類樣品,將檢查條件登錄,從而實(shí)現(xiàn)高效地檢查作業(yè)。

>> 圖像一覽功能
此功能是將保存的圖像以文件夾為單位按照保存時(shí)間進(jìn)行發(fā)灰一覽顯示。本設(shè)備的路徑、時(shí)間顯示圖像具有下列豐富得功能,對于操作者來說是非常有效的作業(yè)手段。

各種計(jì)測功能
>> 尺寸測量
能夠進(jìn)行兩點(diǎn)間距離、角度、弧線的測量。以前每幅圖像都要校準(zhǔn)尺寸,在本設(shè)備的尺寸測量與放大倍數(shù)設(shè)置為聯(lián)動(dòng),在軟件內(nèi)部進(jìn)行數(shù)據(jù)校準(zhǔn),這樣就可大大提高尺寸測量的效率。

>> BGA氣泡率測量
臨界值設(shè)定完成后,系統(tǒng)根據(jù)自動(dòng)計(jì)算的結(jié)果,判別出合格與不合格的產(chǎn)品。同時(shí)可將結(jié)果用CSV文件的格式進(jìn)行保存。

>> 面積比率測量
用于測量焊接或焊盤上焊膏的侵潤比率。系統(tǒng)在ROI(用戶區(qū)域)內(nèi)測量目標(biāo)的面積比率。具體方法是用目標(biāo)面積/ROI面積。

>> 金線曲率測量
確定金線兩端以及zui大曲率點(diǎn)位置,系統(tǒng)能夠計(jì)算出金線的曲率。此結(jié)果也可用CSV文件格式保存。

主要規(guī)格
  SMX-1000 SMX-1000L
空間分辨率 5μm
可搭載樣品尺寸 350X400mm 570X670mm
檢查行程 300X350mm 520X620mm
可搭載樣品質(zhì)量 zui大5kg
接收部傾斜 zui大60度
接zui大輸出電壓 90kv(10W)
接收部 數(shù)字平板檢出器
檢查視野 約2~35mm
放大倍數(shù) 約6~158倍(動(dòng)畫zui大127倍)
功率 AC100V 1kVA
外形尺寸 995(W)X990(D)X1,285
(H)mm 1,490(W)X1,525(D)X1,325
(H)mm
質(zhì)量 約500kg 約950kg

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